Διεργασίες κατασκευής ολοκληρωμένων κυκλωμάτων και αισθητήρων PDF
Document Details
Uploaded by HappierLarimar2949
ΕΚΕΦΕ «Δημόκριτος»
Δημήτρης Δαβάζογλου
Tags
Summary
This document describes processes for the fabrication of integrated circuits and sensors, focusing on thin film deposition methods. The document includes diagrams, figures and definitions, with a possible focus on the specific techniques developed at the "Δημόκριτος" research center. It mentions key concepts and processes involved in semiconductor manufacturing.
Full Transcript
Διεργασίες κατασκευής ολοκληρωμένων κυκλωμάτων και αισθητήρων ΕΝΑΠΟΘΕΣΕΙΣ ΥΜΕΝΙΩΝ (THIN FILM DEPOSITION) Δημήτρης Δαβάζογλου, [email protected] ΕΚΕΦΕ «Δημόκριτος», Ινστιτούτο Μικροηλεκτρονικής ΕΝΑΠΟΘΕΣΕΙΣ ΥΜΕΝΙΩΝ (THIN FILM DEPOSITION) ΕΙΚΟΝΕΣ ΠΟΛΥ...
Διεργασίες κατασκευής ολοκληρωμένων κυκλωμάτων και αισθητήρων ΕΝΑΠΟΘΕΣΕΙΣ ΥΜΕΝΙΩΝ (THIN FILM DEPOSITION) Δημήτρης Δαβάζογλου, [email protected] ΕΚΕΦΕ «Δημόκριτος», Ινστιτούτο Μικροηλεκτρονικής ΕΝΑΠΟΘΕΣΕΙΣ ΥΜΕΝΙΩΝ (THIN FILM DEPOSITION) ΕΙΚΟΝΕΣ ΠΟΛΥΚΡΥΣΤΑΛΛΙΚΟΥ ΠΥΡΙΤΙΟΥ ΜΕΘΟΔΟΙ ΕΝΑΠΟΘΕΣΗΣ ATOMIC LAYER DEPOSITION, ALD Ετσι εναποθέτουμε υμένια με πάχος ένα μονόστρωμα (δηλαδή μερικά Ανγκστρομ) και πολύ καλή βηματική κάλυψη. Απαραίτητο εργαλείο νανο-τεχνολογίας. ATOMIC LAYER DEPOSITION, ALD Al2O3 H 2O Al(CH3)3 H ΤΕΧΝΙΚΗ LIFT-OFF (ΔΟΜΕΣ ΜΕ ΕΛΑΧΙΣΤΗ ΔΙΑΣΤΑΣΗ ΚΑΤΩ ΑΠΌ ΤΑ 200 nm) ΠΟΛΎ ΧΡΗΣΙΜΗ ΤΕΧΝΙΚΗ ΣΤΗΝ ΚΑΤΑΣΚΕΥΗ ΜΙΚΡΟΣΥΣΤΗΜΑΤΩΝ ΜΟΝΤΕΛΑ ΠΟΥ ΒΑΣΙΖΟΝΤΑΙ ΣΕ ΜΑΚΡΟΣΚΟΠΙΚΕΣ ΚΙΝΗΤΙΚΕΣ ΠΑΡΑΜΕΤΡΟΥΣ (Συντελεστής επικόλησης (sticking coefficient Sc), ροές διαφόρων μορίων και ριζών, γωνίες άφιξης πάνω στο υπόστρωμα, κλπ).
