B1 Process Overview PDF

今日は、簡単なP&IDの説明を行います。後日、DCS制御仕様書についての説明がありますので、自動調節弁の作動等については、その時に確認してください。 それでは、B1工程の概要を説明します。 Good morning, everyone. Today, I will brief description of the P & ID of the process B1. At a later date, there is a...

今日は、簡単なP&IDの説明を行います。後日、DCS制御仕様書についての説明がありますので、自動調節弁の作動等については、その時に確認してください。 それでは、B1工程の概要を説明します。 Good morning, everyone. Today, I will brief description of the P & ID of the process B1. At a later date, there is a description of the DCS , for a more detailed description of the operation of the automatic control valve, please check at that time. From now, I am explaining an outline of B1 process. I think there is mistake in and sentences of English, please acknowledge it. 1\. 概要 1\. Outline 2\. 塔槽類 \(1) ﾍﾞﾝﾄｶﾞｽ凝縮 1\. E-251 \"BJ VENT GAS COOLER\" 2\. E-252 \"VENT GAS EXCHANGER\" 3\. E-253 \"VENT GAS/SILANE CHILLER\" 4\. D-2531 \"CHLOROSILANE SURGE DRUM\" 2\. Towers, tanks, and drums \(1) Vent gas condensation 1\. E-251 is \"BJ VENT GAS COOLER\" 2\. E-252 is \"VENT GAS EXCHANGER\" 3\. E-253 is \"VENT GAS/SILANE CHILLER\" 4\. D-2531 is \"CHLOROSILANE SURGE DRUM\" \(2) 圧縮 1\. CP-254A/B/C/D \"VENT GAS COMPRESSOR\" \(2) Compression \(3) 吸収･蒸留ｼｽﾃﾑ 1\. T-260A/B/C/D/E/F \"ADSORBER\" \(3) Adsorption system 1\. T-260A, B, C, D, E, and F \"ADSORBER\" それでは、B1工程の"P&ID"を説明します。 So, I explain \"P & ID\" of B1 process. ﾘｱｸﾀｰﾍﾞﾝﾄｶﾞｽとFL-2601A/B/C/Dからの回収ｶﾞｽは、E-251へ供給されます。 Recovery of gas from the reactor vent gas and FL-2601 A, B, C, and D is supplied to the E-251. ﾘｱｸﾀｰﾍﾞﾝﾄｶﾞｽは、BJの未反応のｶﾞｽで、FL-2601A/B/C/Dからの回収ｶﾞｽは、HCLをT-260A/B/C/D/E/Fの活性炭で除去したH2である｡ Reactor vent gas is a gas of unreacted BJ, and Recovery of gas from FL-2601 A, B, C, and D is H2 was removed by activated carbon of T-260A, B, C, D, E, and F the HCL. ﾘｱｸﾀｰﾍﾞﾝﾄｶﾞｽの流量は約24562Nm3/h、圧力は0.5MPaです。 Flow rate of the reactor vent gas is 24562Nm3 / h, pressure is 0.5MPa. E-251はTW熱交換器で､供給されるﾍﾞﾝﾄｶﾞｽの温度を約310℃から約40℃まで冷却する。 E-251 is a TW heat exchanger, cools to approximate 40 °C from 310 °C the temperature of the vent gas is supplied ﾍﾞﾝﾄｶﾞｽはﾁｭｰﾌﾞ側に供給されて、TWはｼｪﾙ側に供給されます。 The vent gas is supplied to the tube side, and then TW will be supplied to the shell side. TWの流量は841.7m3/hです。 Flow rate of the TW is approximately 841.7m3 / h. 固定管板式熱交換器は、上側ｼｪﾙ部に空気層ができる事により管板面に割れ等の発生が懸念される為空気層ができない様にｼｪﾙ部ｴｱｰ抜き弁を開としてTWを通水する。 For the fixed tube sheet heat exchanger, the air layer formed over the upper shell could cause a such as cracking in the surface of the tube sheet. To prevent such a , feed TW by opening the shell air vent valve. このﾗｲﾝは、CP-254A/B/C/Dのｽﾋﾟﾙﾊﾞｯｸﾗｲﾝです。 This line is Spill back of CP-254A, B, C, and D. ｽﾋﾟﾙﾊﾞｯｸは、D-2541の圧力を調整します。又、ｽﾋﾟﾙﾊﾞｯｸのH2ｶﾞｽでE-252のﾁｭｰﾌﾞを洗浄して伝熱効率を維持します。 Spill back will adjust the pressure of the D-2541, and maintain the efficiency of heat transfer and clean the tube of E-252 with spill back H2 gas. E-252は冷熱回収熱交換器で、D-2531のﾍﾞﾝﾄｶﾞｽで回収ｶﾞｽを約34℃まで冷却する｡ E-252 is thermal recovery heat exchanger, cools the recovery gas to temperature 34 °C in the vent gas of D-2531. 回収ｶﾞｽはﾁｭｰﾌﾞ側に供給されて、D-2531のﾍﾞﾝﾄｶﾞｽはｼｪﾙ側に供給されます。 The recovery gas is supplied to the tube side, and then the vent gas of D-2531 will be supplied to the shell side. E-253はMOHの冷媒でﾍﾞﾝﾄｶﾞｽを更に冷却して､ｸﾛﾛｼﾗﾝを液化分離する｡ E-253 is cools the vent gas using MOH as a so that chlorosilane is and separated. ﾍﾞﾝﾄｶﾞｽはﾁｭｰﾌﾞ側に供給されて、MOHはｼｪﾙ側に供給されます。 The vent gas is supplied to the tube side, and then methanol will be supplied to the shell side. MOHの流量は670m3/hです。 Flow rate of the methanol is approximately 670m3 / h. この配管は、MOHのｴｱｰ抜き配管です。 This line is air vent piping of the MOH. ｻｲﾄｸﾞﾗｽでｴｱｰがMOH配管から抜き出された事を確認する。 Confirm through the sight glass that the air has been removed from the MOH pipe E-251/E-252/E-253は、ﾘｱｸﾀｰﾍﾞﾝﾄｶﾞｽ中のｸﾛﾛｼﾗﾝの約91%を凝縮する。 E-251, E-252 and E-253 are approximate 91% of the chlorosilane to condense in the reactor vent gas. D-2531のｸﾛﾛｼﾗﾝｻｰｼﾞﾄﾞﾗﾑは液化したｸﾛﾛｼﾗﾝを回収する設備である｡ The D-2531 chlorosilane surge drum recovers the chlorosilane. 回収された液体は､T-258のHCL放散塔にﾎﾟﾝﾌﾟで供給される｡ The recovered liquid is pumped to the T-258 HCL stripping tower. これは、ﾎﾞﾙﾃｯｸｽﾌﾞﾚｰｶｰです。 This is a Vortex breaker. ﾎﾞﾙﾃｯｸｽﾌﾞﾚｰｶｰは、ﾎﾟﾝﾌﾟが液を吸引する時にうずの発生を防ぎます。 Vortex breaker is to prevent the of vortex when the pump is the liquid. P-2531A/Bは、D-2531からT-258にSTCを供給するﾎﾟﾝﾌﾟで、通常の運転時には、1台運転で1台予備機です。 P-2531A and B is a pump to feeding the STC from D-2531 to T-258, and then operate one among P-2531A and B putting the on standby. P-2531A/Bの吸入配管には、ﾊﾞｹｯﾄｽﾄﾚｰﾅｰがあります。 The suction pipe of P-2531A and B has the bucket strainer. P-2531A/B吸入配管の接続弁を閉めて、SR-2531AはP-2531A専用のｽﾄﾚｰﾅｰで使用する。 Close the connection valve on the suction pipe of P-2531A and B, SR-2531A is switched to the strainer dedicated to P-2531A. P-2531A/Bは、自動起動のﾎﾟﾝﾌﾟです。 P-2531A and B is starts automatically of pump. 運転中のﾎﾟﾝﾌﾟが停止した場合に予備機が自動起動する事により、安定運転の継続を図る。 The pump of standby starts automatically to continue operation if pump of run is stops. この配管はﾘﾊﾞｰｽｻｰｷｭﾚｰｼｮﾝ配管で、この配管構造はｶﾞｽが溜まりません。 This line is reverse circulation piping, and this piping construction is no gas buildup. It is no pocket. ﾘﾊﾞｰｽｻｰｷｭﾚｰｼｮﾝ配管は、P-2531A/Bのﾘﾊﾞｰｽ内部で気化したｶﾞｽが滞留しない様にD-2531に液を循環します。 Reverse circulation piping will circulate the liquid to D-2531 so as not to accumulate the vaporized gas is the reverse inside of P-2531A and B. この配管はP-2531A/BからSTCを供給して、E-251の上部管板面とﾁｭｰﾌﾞを洗浄する。 This line is feeding STC from P-2531A and B, and to clean the upper tube plate and tubes of E-251. この配管は、T-258にTCS/STCを供給します。 This line is feeding TCS and STC to the T-258. LC2531は、D-2531の液面調節弁で50%に調整します。 LC2531 is adjusted to 50 % in the level control valve of D-2531. この機器は、D-2531関係の自動置換を行ないます。 This equipment will automatic replacement the of D-2531 relationship. 自動置換は、機器や付属配管内に保有しているH2やSTCを除去してN2へ置換する作業である。 The automatic replacement is an operation to replace H~2~ and STC with N2 in devices, equipment, and their auxiliary pipes. 自動置換には、Air-N2置換、N2-H2置換、STC-N2置換があります。 The automatic replacement, there is \"Air-N2 replacement\" and \"N2-H2 replacement\" and \"STC-N2 replacement\". ｴｱｰからN2へ置換する目的として、機器や付属配管内の結露防止やｼﾗﾝｶﾞｽとｴｱｰの化学反応によるHCLの生成を防止する事が挙げられる。 又、ｴｱｰからN2へ置換する事により、配管の腐食や製品への不純物混入を防止できる。 可燃性ｶﾞｽを取扱う機器や付属配管については、ｴｱｰを除去する事により可燃性ｶﾞｽとの化学反応による爆発・着火を防止する事が挙げられる。 One of the purposes of replacing the air with N2 is to prevent dew condensation and generation of HCl from the chemical reaction of silane gas and the air inside the devices, equipment, and their auxiliary pipes. Replacing air with N2 also prevent corrosion of pipes and contamination of products with. In addition, as for the devices, equipment, and their auxiliary pipes that handle gases, elimination of air helps to prevent ignition and explosion caused by a chemical reaction with flammable gas. N2からH2へ置換する目的として、製品へのN2の溶存防止やH2濃度を高める事による化学反応の促進が挙げられる。 The purpose of replacing N2 with H~2~ is to prevent a solution of N2 from entering products and to chemical reactions by increasing the H2 concentration. H2からN2へ置換する目的として、機器や付属配管内部に保有した可燃性ｶﾞｽを除去する事で化学反応による爆発・着火を防止する事が挙げられる。 One of the purposes of replacing H2 with N2 is to prevent ignition and explosion caused by chemical reactions by eliminating flammable gas contained in devices, equipment, and their auxiliary pipes. TCS・STCからN2へ置換する目的として、機器や付属配管内部に保有したTCSｶﾞｽ・STCｶﾞｽを除去する事で化学反応によるHCLの発生や機器や付属配管の腐食を防止する事が挙げられる。 又、機器や付属配管に付着したTCS・STCによる臭気の除去を行なう。 One of the purposes of replacing TCS and STC with N2 is to prevent generation of HCl and corrosion of pipes caused by chemical reactions by eliminating TCS and STC gas contained in devices, equipment, and their auxiliary pipes. Additionally, the of TCS and STC is eliminated from the devices, equipment, and their auxiliary pipes by this operation. これはﾐｽﾄｾﾊﾟﾚｰﾀｰで、D-2541に供給するｶﾞｽ中のﾐｽﾄを除去します。 This is a Mist separator; it is remove the mist in gas to be feed to D-2541. D-2531のﾍﾞﾝﾄｶﾞｽは、E-252に供給して熱交換した後D-2541に供給されます。 The vent gas of D-2531 is supplied to the D-2541 after the heat exchange is supplied to the E-252. TC25411でCP-254A/B/C/Dの吸込温度を5℃に調整します。 TC25411 is adjusted to 5 °C a suction temperature of CP-254A, B, C, and D. E-252で熱効率が高い場合は、CP-254A/B/C/Dの吸込温度が上昇するので、TC25411でD-2541にｶﾞｽを供給します。 If the thermal of the E-252 is high, the temperature of CP-254A, B, C, and D is increased; to supply gas to the D-2541 is TC25411. CP-254A/B/C/Dの吸込温度が上昇すると圧縮効率は低下します。 Compression is reduced with increasing suction temperature of CP-254A, B, C, and D. しかし、吸込温度が低下すると結露による配管腐食や熱効率の損失がおこるので、5℃に調整します。 However, the loss of thermal and piping corrosion caused by condensation happens when the suction temperature is reduced, and then adjusted to 5 °C. この配管は、圧力が0.7Mpaより上昇した時の緊急放出配管です。 This line is emergency release piping when the pressure was increased more 0.7MPa. D-2541は、CP-254A/B/C/Dの吸込ﾄﾞﾗﾑです。 The D-2541 is a suction drum of CP-254A, B, C, and D. ｶﾞｽ中のｸﾛﾛｼﾗﾝが凝縮した場合には、液面計で確認します。 If the chlorosilanes in gas has been condensed, check the level gauge. D-2541の圧力は0.5MPaと低いので、ｼﾗﾝは凝縮しにくいと考えられます。 The D-2541 pressure is 0.5MPa and Low, chlorosilane is considered difficult to condense. CP-254A/B/C/Dはｶﾞｽの圧縮機です。 The CP-254A, B, C, and D are compressor of gas. CP-254A/B/C/Dは通常の運転時には、3台運転で1台予備機です。 Operate three among CP-254A, B, C, and D while putting the remainder on standby. CP-254A/B/C/Dの1台の性能は10,640Nm3/hで、圧力を1.41MPaに昇圧します。 One Capacity of the CP-254A, B, C, and D is 10,640Nm3 / h, and 1.41MPa to increasing the pressure. CP-254A/B/C/Dは同一機器である為、CP-254Aについて説明する。 CP-254A, B, C, and D are the same type of equipment; therefore, only explain at CP-254A. HC2543A-3は、CP-254Aのｽﾋﾟﾙﾊﾞｯｸﾗｲﾝです。 HC2543A-3 is Spill back of CP-254A. CP-254Aの吐出圧力は、HC2543A-3で調整します。 The discharge pressure of the CP-254A is adjusted in HC2543A-3. CP-254Aを起動している時は、HC2543A-3は閉でｽﾋﾟﾙﾊﾞｯｸを停止します。 When running the CP-254A will stop spill back by close the HC2543A-3. この弁はCP-254Aの吸入弁と吐出弁です。 This valve is suction valve and discharge valve of CP-254A. このﾊﾞｲﾊﾟｽ弁は、CP-254Aを起動する時にD-2541と同圧にする時に使用します。 This bypass valve is used to the D-2541 same pressure when to start it up the CP-254A. D-2542は、CP-254A/B/C/Dの吐出ﾄﾞﾗﾑです。 The D-2542 is discharge drum of the CP-254A, B, C, and D. ｶﾞｽ中のｸﾛﾛｼﾗﾝが凝縮した場合には、D-2542内に滞留している液体をD-2531へ排出する。 If the chlorosilanes in gas has been condensed, discharge liquid stored in D-2542 to D-2531. PC2541は、D-2541の圧力調節弁で0.43MPaに調整します。 PC2541 is adjusted to 0.43MPa in the pressure control valve of D-2541. このﾗｲﾝは、T-256にｶﾞｽを供給する配管です。 This line is the feeding pipe gas to the T-256. CP-254A/B/C/Dは往復式ｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰで、ﾓｰﾀｰの回転運動をｸﾗﾝｸｼｬﾌﾄ、ｺﾈｸﾃｨﾝｸﾞﾛｯﾄﾞを介して往復動運動に転換し、ﾋﾟｽﾄﾝを往復運動させることにより、ｼﾘﾝﾀﾞ内に流入した気体を圧縮する。 The CP-254A, B, C, and D is reciprocating compressors, and the gas introduced into the cylinder by converting the rotary motion of the motor into the reciprocating motion of the piston through the crank shaft and the connecting rod. CPD-2544A/EとCPD-2545A/Eは、吸入圧力や吐出圧力を一定に保つ為のﾄﾞﾗﾑです。 CPD-2544A and E, CPD-2545A and E is the drum to maintain a constant discharge pressure and suction pressure. CPP-2547A/Eは、ｸﾗﾝｸ室の軸受にｵｲﾙを供給して潤滑作用を向上させます。 CPP-2547A and E is improve the lubricating action to feeding oil to the bearing of the crank room. CPE-2549Aは、ｵｲﾙの冷却器です。 CPE-2549A is the oil cooler. ｵｲﾙはｼｪﾙ側に供給されて、TWはﾁｭｰﾌﾞ側に供給されます。 Oil is supplied to the shell side, and then TW will be supplied to the tube side. CPE-2546Aは、TWでCP-254Aの吐出ｶﾞｽを冷却します。 CPE-2546A is cool the discharge gas of the CP-254A in TW. CP-254Aの吐出ｶﾞｽはｼｪﾙ側に供給されて、TWはﾁｭｰﾌﾞ側に供給されます。 The discharge gas of the CP-254A is supplied to the shell side, and then TW will be supplied to the tube side. ｶﾑやﾊﾞﾙﾌﾞの温度が一定温度以上に上昇しないようにCP-254Aのｼﾘﾝﾀﾞ部にTWを供給する。 TW is feed of the CP-254A cylinder so that it does not increase above a certain temperature the temperature of the cam and valves. ｸﾞﾗﾝﾄﾞ部やﾃﾞｨｽﾀﾝｽﾋﾟｰｽ室は、ﾌﾟﾛｾｽ側のｶﾞｽがｸﾗﾝｸ室へ流入して潤滑油を劣化させないようにH2とN2でﾊﾟｰｼﾞする。 Distance piece rooms and ground part, to be purged with N2 and H2 as not to degrade the lubricating oil flowing into the crank room side of the process gas. ｸﾞﾗﾝﾄﾞ部やﾃﾞｨｽﾀﾝｽﾋﾟｰｽ室をﾊﾟｰｼﾞしたH2とN2は、DG6に供給されます。 H2 and N2 were purged distance piece rooms and the ground part is supplied to DG6. CP-254Aの1室目ｸﾞﾗﾝﾄﾞﾊﾟｯｷﾝ部にH2をﾊﾟｰｼﾞする事により、1室目ｸﾞﾗﾝﾄﾞﾊﾟｯｷﾝ部よりﾃﾞｨｽﾀﾝｽﾋﾟｰｽ1室へのｶﾞｽ漏れを防止する。 Purge the gland packing part of the first room of CP-254A by feeding H2, to prevent gas leakage from the gland packing part of the first room to the first room of the distance piece of equipment. 1室目ｸﾞﾗﾝﾄﾞﾊﾟｯｷﾝ部の圧力はDG6の圧力になります。 Pressure of the gland packing part will be the pressure of DG6. ﾃﾞｨｽﾀﾝｽﾋﾟｰｽ第1室及び第2室それぞれにN2をﾊﾟｰｼﾞして加圧する事により、1室目ｸﾞﾗﾝﾄﾞﾊﾟｯｷﾝ部よりｸﾗﾝｸ室へのｶﾞｽの侵入を防止する。 Increase the pressure in the first and second rooms of the distance piece of equipment by purging the rooms with N2, so that the gas does not flow from the gland packing part of the first room into the crank room. ﾃﾞｨｽﾀﾝｽﾋﾟｰｽ第1室及び第2室の圧力は、40kPaで管理調整する。 Adjust and control the pressure in the first and second rooms of the distance piece of equipment, at 40 kPa. ﾜｲﾊﾟﾘﾝｸﾞ部にN2をﾊﾟｰｼﾞして加圧する事により、ﾃﾞｨｽﾀﾝｽﾋﾟｰｽ第2室よりｸﾗﾝｸ室へのｶﾞｽの侵入を防止する。又、ｸﾗﾝｸ室からﾃﾞｨｽﾀﾝｽﾋﾟｰｽ第2室へのｵｲﾙ漏れを防止する。 Increase the pressure on the wiper rings by purging with N2. Do this to prevent gas entry from the second room of the distance piece of equipment into the crank room, as well as to prevent oil leakage from the crank room to the second room of the distance piece of equipment. ﾜｲﾊﾟﾘﾝｸﾞ部の圧力は、50kPaで管理調整する。 Adjust and control the pressure on the wiper rings, at 50 kPa. T-256は不規則充填物を充填したHCL吸収塔であり、-40℃に冷却されたｼﾗﾝ液を循環する充填塔である。 BJ1工程のﾘｱｸﾀｰからのﾍﾞﾝﾄｶﾞｽはCP-254A/B/C/Dで圧縮してT-256の塔底へ供給される。 HCLを含有したﾍﾞﾝﾄｶﾞｽは、T-256内部で塔内を降下するｼﾗﾝ液と向流接触して、ﾍﾞﾝﾄｶﾞｽ中の98%以上のHCLはｼﾗﾝ液に吸収される。 HCLは化学平衡で水には吸収が容易であるが、ｼﾗﾝ液では20倍以上の循環量が必要となり、T-256では約150m^3^/hのｼﾗﾝ液を循環している。 T-256のHCL濃度が高い缶出液は、T-258のHCL放散塔に供給してｼﾗﾝ液中に含有するHCLを気化して除去を行なう。 T-256 is a HCL absorption tower filled with random packing materials as well as a packed tower circulating silane liquid chilled to -40 °C. The vent gas from the reactor in the BJ1 process is compressed in CP-254A, B, C, and, D and fed to the bottom of T-256. The vent gas containing HCL contacts the silane liquid flowing down inside the tower of T-256 where more than 98 % of the HCL within the vent gas is absorbed in the silane liquid. HCL is a chemical that is easily absorbed by water; however, it that the circulation volume of the silane liquid be more than twenty times higher. Thus, in T-256, approximately 150 m^3^/h of the silane liquid needs to be circulated. The bottom liquid from T-256 containing high density of HCL shall be fed to the T-258 HCL stripping tower to vaporize and remove HCL contained in the silane liquid. この配管は、T-256にH2/HCLを供給します。 This line is feeding H2 and HCL to the T-256. E-255A/Bは冷熱回収熱交換器で、吸着塔に供給するｶﾞｽでT-256に供給するｶﾞｽを約-22℃まで冷却する｡ E-255A and B is a thermal recovery heat exchanger, cools to approximate -22 °C feeding gas to the T-256 in the feeding gas to the adsorber tower. T-256に供給するｶﾞｽはﾁｭｰﾌﾞ側に供給されて、吸着塔に供給するｶﾞｽはｼｪﾙ側に供給されます。 The feeding gas to the T-256 is supplied to the tube side, and then the feeding gas to the adsorber tower will be supplied to the shell side. T-256は、HCL吸収塔で、圧力は1.41MPaです。 T-256 is HCL absorber tower, and Pressure is 1.41MPa. T-256は、STCを循環して供給するｶﾞｽ中のHCLをSTCに吸収します。 T-256 is absorbed by the STC in the feeding gas of HCL to circulate the STC. T-256の内部には、不規則充填物のﾎﾟｰﾙﾘﾝｸﾞが設置してあります。 Inside the T-256 is a pole ring of random packing will have been installed. ﾎﾟｰﾙﾘﾝｸﾞは、STCとHCLの接触効率が高くなり、HCLの吸収がよくなります。 Paul Ring is the contact becomes higher STC and HCL, HCL will be well absorbed. T-256に供給するｶﾞｽ中のHCLは、98%以上をSTCに吸収します。 HCL in the feeding gas to T-256, and then absorbed into the STC for more than 98%. ですから吸着塔に供給するｶﾞｽ中のHCLは、0.1mol%程度になります。 Therefore HCL in the feeding gas to the adsorber tower will be the extent 0.1mol%. T-256の缶出液は、FC25801でT-258に供給します。 FC25801 is the bottom liquid of T-256 to feeding STC to T-258. FC25801は、T-258へのSTC供給流量調節弁で、T-256のｼﾗﾝ液循環量を約150m^3^/hに調整します。 FC25801 is the feed rate control valve to feeding bottom liquid of T-256 to T-258, and then to adjust to approximately 150 m^3^/h of the silane liquid to be circulated in T-256. LC2580は、T-258の液面調節弁で50%に調整して、T-258の缶出液は、LC2580でT-256の塔頂に供給します。 LC2580 is adjusted to 50 % in the level control valve of T-258, and then the Bottom liquid of T-258 to feeding STC to top of T-256. T-256とT-258のそれぞれの液の供給をSTCｸﾛｽ循環運転といいます。 This is known as cross circulation of STC to feeding STC for each of the T-258 and T-256. Power point sheet 1 それでは、簡単にSTCｸﾛｽ循環運転の説明をします。 From now, I will explain of easily cross circulation of STC. 実際には、液の組成や密度等により流量は異なりますが、この説明では簡略化します。 In fact, the flow rate will due to the and density of liquid, in this explanation is simplified. T-258へのSTC供給量は、FC25801で調整します。 Flow rate of STC to T-258 is adjusted in FC25801. T-256の液面調整は、T-258からD-372へのSTCの供給量で調整します。 Adjust the liquid level of T-256 is adjusted by the feed rate of STC to D-372 from T-258. 基本的にD-2531からT-258に供給されるSTCが、D-372へ供給される事になります。 STC will be supplied to T-258 from D-2531 is basically, is supplied to D-372. T-258の液面調整は、T-256へのSTC供給量で調整します。 Adjust the liquid level of T-258 is adjusted by the feed rate of STC to T-256. T-256のSTC循環量の流量計はないので、T-258へのSTCの供給量でSTC循環量を約150m^3^/hに調整する事になります。 The flowmeter of cross circulation of STC of T-256 does not; cross circulation of STC of T-256 will be adjusted to approximately 150m3 / h at the feed rate of STC of T-258. T-258の液面の変動により、T-256のSTC循環量は変わります。 Due to in the liquid level of T-258, cross circulation of T-256 is changed. sheet 2 それでは、簡単にT-256のSTC循環量の調整について説明をします。 Now, let\'s describes adjustment of cross circulation of STC of T-256. T-256のSTC循環量が少ないので流量を増やす調整をします。 Adjust the flow rate to increase because cross circulation of STC of T-256 is decreased. FC25801で、T-258へのSTC供給量を増量します。 To increase the feed rate of STC to T-258 at FC25801. FC25801のSVを170m3/hに調整する。 Gradually adjust the SV of FC25801 within of 170m3/h. T-258の液面が上昇する為、LC2580が開方向に作動してT-256へのSTC供給量が増量します。 Since the liquid level rises of T-258, increase the feed rate of STC to T-256 will be operating to increase the open direction is LC2580. T-256の液面は一時的に低下します。 しかし、T-258からSTCが供給されるので直ぐに復帰します。 The liquid level of T-256 will be lowers temporarily. However, it returns so that the STC is supplied from T-258. sheet 3 次のｼｰﾄでは、T-256のSTC循環量を減少させる調整を説明します。 In the next sheet will explain the adjustment to decrease the cross circulation of STC of T-256. FC25801で、T-258へのSTC供給量を減少させます。 To decrease the STC feed rate to T-258 at FC25801. FC25801のSVを170m3/hに調整する。 Gradually adjust the SV of FC25801 within of 170m3/h. T-258の液面が低下する為、LC2580が閉方向に作動してT-256へのSTC供給量が減少します。 Since the liquid level lowers of T-258, decrease the STC feed rate to T-256 will be operating to decrease the close direction is LC2580. T-256の液面は一時的に上昇します。 しかし、T-258からのSTC供給量が減少するので復帰します。 The liquid level of T-256 will be rises temporarily. However, it returns because it decreases the STC feed rate from T-258. 以上が、STCｸﾛｽ循環運転の説明です。 The above is explain of cross circulation of STC. T-256とT-258のそれぞれの液は、E-257A/B/C/Dで熱交換します。 Liquid of each of T-258 and T-256, the heat exchange is E-257A, B, C and D. T-258からT-256に供給されるSTCは高い温度である為、E-257A/B/C/Dで-20℃まで冷却されます。 The feeding STC is cools to -20 °C in E-257A, B, C and D to the T-256 from T-258, because it is high temperature. T-258に供給するSTCはﾁｭｰﾌﾞ側に供給されて、T-256に供給するSTCはｼｪﾙ側に供給されます。 Feeding STC to the T-258 is supplied to the tube side, and then feeding STC to the T-256 will be supplied to the shell side. E-2561は深冷冷却器で、R507AでSTCを冷却します。 E-2561 is liquid chiller to cool the STC in R507A. LC2561は、E-2561の液面調節弁で50%に調整します。 LC2561 is adjusted to 50 % in the level control valve of E-2561. E-2561は、STCを-50℃まで冷却する事が可能です。 E-2561 can be cooled to -50 °C the STC is possible. STCはﾁｭｰﾌﾞ側に供給されて、R507Aはｼｪﾙ側に供給されます。 STC is supplied to the tube side, and then R507A will be supplied to the shell side. R507AをK-291A/Bから供給して、気化したR507AはK-291A/Bに戻ります。 R507A is supplied from K-291A and B, the vaporized R507A will return to K-291A and B. T-256に供給するSTCは、熱効率を考慮してE-2561で-40℃まで冷却します。 The feeding STC is cools to -40 °C in the E-2561 to consider for thermal to T-256. T-256に供給するSTCは、-40℃まで冷却する事により、HCLの吸収が可能です。 The feeding STC to T-256, the absorption of HCL is possible by cooling to -40 °C. TI25612/TI25613の温度が、-30℃まで上昇するとT-256/T-258のSTCｸﾛｽ循環運転は停止します。 If the PV of any of TI25612, TI25613 rises to -30 °C, cross circulation of STC between T-256 and T-258 stops. この機器は、T-256/T-258関係の自動置換を行ないます。 This equipment will automatic replacement the of T-256 and T-258 relationship. この配管は、D-2531からT-258にTCS/STCを供給する配管です。 This line is feeding TCS and STC to the T-258 from D-2531. T-258は上段に規則充填物、下段に不規則充填物を充填したHCL放散塔であり、T-256から供給されたｼﾗﾝ液中に含有するHCLを気化して除去する充填塔である。 気化されたｼﾗﾝとHCLは、深冷ｸｰﾗｰで-40℃まで冷却されてｼﾗﾝは液化してD-2585の還流ﾄﾞﾗﾑに回収される。 HCLｶﾞｽは、E-259のHCLﾋｰﾀｰに供給された後に10℃まで加熱してA1工程に送気される。 E-2581への1.1ST供給量は、T-258へのｼﾗﾝ液供給量と供給温度及び塔底温度それぞれに基づいて理論蒸気流量を計算して調整される。 T-258 is a HCL stripping tower filled with the structured packing materials in the upper and random packing materials in the lower, as well as a packed tower to vaporize and remove HCL contained in the silane liquid fed from T-256. The vaporized silane and HCL are chilled to -40 °C by a cooler, and then silane is and recovered into the D-2585 reflux drum. Meanwhile, HCL gas is fed to the E-259 HCL heater, heated to 10 °C, and then fed to the A1 process. The feed rate of 1.1ST to E-2581 shall be adjusted by the calculation of the steam flow rate based on the feed rate of the silane liquid to T-258, its temperature, and the tower-bottom temperature,. この配管は、D-2531からT-258にTCS/STCを供給する配管です。 This line is feeding TCS and STC to the T-258 from D-2531. T-258は、HCL塔で圧力は0.67MPaです。 T-258 is HCL tower, and Pressure is 0.67MPa. T-258は、E-2581の1.1STで液を加熱して、STCに吸収しているHCLを気化します。 T-258 is heating the Liquid to 1.1ST of E-2581, HCL is vaporized has been absorbed into the STC. T-258は、上段には規則充填物、下段には不規則充填物が設置してあります。 The T-258 is the structured packing of the upper, and the random packing of the lower will have been installed. T-256からのSTCは、下段の不規則充填物で精留されます。 STC from the T-256 is a random packing of the lower. そして、T-258内部で気化したｶﾞｽは、上段の規則充填物で精留されます。 Then, the vaporized gas inside T-258 is a structured packing of the upper. E-2582はMOH深冷冷却器で､T-258内部で気化したｶﾞｽはE-2582で冷却されて凝縮されます。 The E-2582 is methanol prechiller; the vaporized gas inside T-258 is condensed to cool by E-2582. ﾍﾞﾝﾄｶﾞｽはﾁｭｰﾌﾞ側に供給されて、MOHはｼｪﾙ側に供給されます。 The vent gas is supplied to the tube side, and then methanol will be supplied to the shell side. MOHの流量は約146.1m3/hです。 Flow rate of the methanol is approximately 146.1m3 / h. E-2583は凝縮器で、R507AでSTCを凝縮します。 E-2583 is condenser, and then STC is condensed in R507A. LC2583は、E-2583の液面調節弁で50%に調整します。 LC2583 is adjusted to 50 % in the level control valve of E-2583. STCはﾁｭｰﾌﾞ側に供給されて、R507Aはｼｪﾙ側に供給されます。 STC is supplied to the tube side, and then R507A will be supplied to the shell side. R507AをK-291A/Bから供給して、気化したR507AはK-291A/Bに戻ります。 R507A is supplied from K-291A and B, the vaporized R507A will return to K-291A and B. D-2585は、還流槽です。 D-2585 is reflux drum. E-2582とE-2583で凝縮されたSTCは、還流槽にたまります。 STC is condensed by E-2582 and E-2583, accumulate in the reflux drum. この配管は還流配管で、D-2585のSTCは還流液として、T-258に供給されます。 This line is the reflux piping, and then STC of D-2585 as a reflux liquid is supplied to the T-258. LC2585は、D-2585の液面調節弁で50%に調整します。 LC2585 is adjusted to 50 % in the level control valve of D-2585. 還流配管は、T-258からｶﾞｽが逆流しない様にUｼｰﾙ配管になっています。 The reflux piping has to u seal piping and check valve, so not to reverse gas from T-258. この配管は、ﾍﾞﾝﾄｶﾞｽ配管で、E-259は電気ﾋｰﾀｰです。 This line is the vent gas piping, and then E-259 is electrical heater. ﾍﾞﾝﾄｶﾞｽはｼｪﾙ側に供給します。 The vent gas is supplied to the shell side. PC2590は、T-258の圧力調節弁で0.67MPaに調整します。 PC2590 is adjusted to 0.67MPa in the pressure control valve of T-258. D-2585のﾍﾞﾝﾄｶﾞｽはHCLとH2で、ﾍﾞﾝﾄｶﾞｽは、E-259で10℃まで加熱して、A1工程に供給します。 D-2585 of the vent gas is H2 and HCL, and then the vent gas is heated to 10 °C in the E-259, and then supplied to the A1 process. TC25904は、ﾍﾞﾝﾄｶﾞｽをE-259のSCRで10℃に調整します。 TC25904 is adjusted to 10 °C in the Silicon Controlled of E-259 to the vent gas. ﾍﾞﾝﾄｶﾞｽをA1工程で使用しない場合は、DG4に供給して中和処理します。 When not in use the vent gas in the A1 process, the process is supplied to the DG4. E-2581はﾘﾎﾞｲﾗｰで、1.1STでSTCを加熱して気化します。 E-2581 is reboiler, and then STC is vaporized by heating for 1.1ST. この配管は1.1ST供給配管で、この配管は1.1SD配管です。 This line is the 1.1ST feed pipe, and then this line is the 1.1SD discharge pipe. FC2581は、1.1STの供給流量調節弁です。 FC2581 is the feed rate control valve of 1.1ST. ST-E258は蒸気ﾄﾗｯﾌﾟで、1.1SDはD-286に供給されます。 The ST-E258 is a steam trap, and then 1.1SD is supplied to the D-286. E-2581への1.1ST供給量は、T-258へのｼﾗﾝ液供給量とTI25803の温度及びTI25805の温度それぞれに基づいて理論蒸気流量を計算して調整される。 The feed rate of 1.1ST to E-2581 shall be adjusted by the calculation of the steam flow rate based on the feed rate of the silane liquid to T-258, its temperature of TI25803, and temperature of TI25805,. T-258へのSTC供給量が増加、TI25803/TI25805の温度が上昇した時には、1.1ST供給量は増加します。 When increase in the feed rate of STC to T-258, and then temperature of TI25803 and TI25805 is rise, the feed rate of 1.1ST is increased. T-258へのSTC供給量の減少及び、TI25803/TI25805の温度が低下した時には、1.1ST供給量は減少します。 When decrease in the feed rate of STC to T-258, and then temperature of TI25803 and TI25805 is lowered, the feed rate of 1.1ST is decreased. E-2584はTW冷却器で､T-258加熱したSTCを約40℃まで冷却します。 The E-2584 is bottoms cooler, and then cooled to approximately 40 °C the STC was heated at T-258. STCはﾁｭｰﾌﾞ側に供給されて、TWはｼｪﾙ側に供給されます。 The STC is supplied to the tube side, and then TW will be supplied to the shell side. TWの流量は約770.4m3/hです。 Flow rate of the TW is approximately 770.4m3 / h E-2584でSTCを冷却して、P-2581A/B/C/Dのｷｬﾋﾞﾃｰｼｮﾝを防止します。又、E-2561の負荷を軽減します。 E-2584 is to cool the STC to prevent cavitation of P-2581A, B, C and D. also, the load on the E-2561. P-2581A/B/C/Dは、T-258からT-256/D-372にSTCを供給するﾎﾟﾝﾌﾟで、通常の運転時には、3台運転で1台予備機です。 P-2581A, B, C, and D is a pump to feeding the STC from T-258 to T-256 and D-372, and then operate three among P-2581A, B, C and D while putting the remainder on standby. P-2581A/B/C/Dの吸入配管には、ﾊﾞｹｯﾄｽﾄﾚｰﾅｰがあります。 The suction pipe of P-2581A, B, C, and D has the bucket strainer. P-2581A/B/C/D吸入配管の接続弁を閉めて、SR-2581AはP-2581A専用のｽﾄﾚｰﾅｰで使用する。 Close the connection valve on the suction pipe of P-2581A, B, C, and D, SR-2581A is switched to the strainer dedicated to P-2581A. P-2581A/B/C/Dは、自動起動のﾎﾟﾝﾌﾟです。 P-2581A, B, C, and D is starts automatically of pump. 運転中のﾎﾟﾝﾌﾟが停止した場合に予備機が自動起動する事により、安定運転の継続を図る。 The pump of standby starts automatically to continue stable operation if pump of run is stops. この配管はﾘﾊﾞｰｽｻｰｷｭﾚｰｼｮﾝ配管で、この配管構造はｶﾞｽが溜まりません。 This line is reverse circulation piping, and this piping construction is no gas buildup. It is no pocket. ﾘﾊﾞｰｽｻｰｷｭﾚｰｼｮﾝ配管は、P-2581A/B/C/Dのﾘﾊﾞｰｽ内部で気化したｶﾞｽが滞留しない様にT-258に液を循環します。 Reverse circulation piping will circulate the liquid to T-258 so as not to accumulate the vaporized gas is the reverse inside of P-2581A, B, C, and D. この配管は、T-258へのSTC循環配管です。 This line is circulation piping of STC to the T-258. この配管は、T-256にSTCを供給して、この配管は、D-372にSTCを供給します。 This line is feeding STC to the T-258, and then this line is feeding STC to the D-372. LC2560は、T-256の液面調節弁で50%に調整します。 LC2560 is adjusted to 50 % in the level control valve of T-256. この機器は、T-258/T-256関係の自動置換を行ないます。 This equipment will automatic replacement of T-258 and T-256 relationship. 吸着塔は、常温において､T-256から供給されるH2中のHCLとｸﾛﾛｼﾗﾝ類をT-260A/B/C/D/E/FのHCL吸着塔の活性炭で除去するｼｽﾃﾑである｡ HCL and chlorosilanes are removed from H2 fed from T-256 by activated carbon in the T-260A, B, C, D, E, and F HCL adsorption towers at an ordinary temperature. T-260A/B/CとT-260D/E/Fは同一機器である為、T-260A/B/Cについて記述する。 T-260A, B, and C, and D, E, and F are the same type of equipment; therefore, only describes the T-260A, B, and C. この配管は、T-256からT-260A/B/CにH2を供給します。 This line is feeding H2 from the T-256 to the T-256A, B, and C. HCL吸着塔では､UPﾌﾛｰで塔底よりH2を供給して､HCL吸着塔内部に充填されている活性炭でHCLとｸﾛﾛｼﾗﾝ類を吸着して､ﾘｻｲｸﾙH2は塔頂より回収される｡ In the HCL adsorption tower, H2 is fed upward from the bottom of the tower, and then HCL and chlorosilanes are adsorbed by activated carbon that fills the tower. Then, the recycled H2 is recovered from the top of the tower. 回収H2の純度は99.9999%となる｡ The purity of the recovered H~2~ is 99.9999 %. CO2､CO､N2､CH4等の物質については､活性炭で吸着されない為に除去されない物質となる｡ CO2, CO, N2, and CH4 will not be removed since these are the substances that activated carbon will not adsorb. この配管は、T-260A/B/CからCVD REACTORSにH2を供給します。 This line is feeding H2 from the T-256A, B, and C to the CVD REACTORS. FL-2601A/Bは、回収H2に同伴するｶｰﾎﾞﾝ等のごみを除去するﾌｨﾙﾀｰです。 FL-2601A and B is a filter to remove dirt such as carbon that of the recovered H2. PC26002は、吸着塔の出口配管の圧力調節弁で1.35MPaに調整します。 PC26002 is adjusted to 1.35MPa in the pressure control valve of discharge pipe of adsorber tower. この配管は、T-260A/B/Cに190℃のHMHを供給します。この配管は、HMHのﾘﾀｰﾝ配管です。 This line is feeding HMH of 190 °C to the T-260A, B, and C, and then this line is return piping of HMH. HCL吸着塔の塔内部と塔外部に設置されているｺｲﾙにHMHを通液して､HCL吸着塔の加熱に使用している｡ HMH is fed through the coils on the inside and outside of the HCL adsorption tower to heat the tower. この配管は、T-260A/B/Cに43℃のHMCを供給します。この配管は、HMCのﾘﾀｰﾝ配管です。 This line is feeding HMC of 43 °C to the T-260A, B, and C, and then this line is return piping of HMC. HCL吸着塔にHMCを通液して､HCL吸着塔の冷却に使用している｡ HMH is fed to the HCL adsorption tower to cool the tower. 吸着塔のHM配管は、ｺｱとｲﾝｻｲﾄﾞｺｲﾙ・ｱｳﾄｻｲﾄﾞｺｲﾙがあります。 HM piping of the HCL adsorption tower, there is the coils on the inside and outside core. この弁でHMHの流量を調整して、この弁はHMCの流量を調整します。 This valve is adjusts the flow rate of HMH, and then adjusts the flow rate of HMC in this valve. この配管はｲﾝｻｲﾄﾞｺｲﾙで、この弁でｲﾝｻｲﾄﾞｺｲﾙのHM流量を調整します。 This line is inside coil, and then a valve is adjusts the flow rate of HM of inside coil. この配管はｱｳﾄｻｲﾄﾞｺｲﾙで、この弁でｲﾝｻｲﾄﾞｺｲﾙのHM流量を調整します。 This line is outside coil, and then a valve is adjusts the flow rate of HM of outside coil. この配管はｺｱで、この弁でｺｱのHM流量を調整します。 This line is core, and then a valve is adjusts the flow rate of HM of core. HCL吸着塔は5.5時間ｻｲｸﾙで運転して､1塔は常に吸着してその間にB/Cの予備塔が再生を行っている｡ Operate HCL adsorption towers on a 5.5 hour shift basis. Always operate one tower to adsorb HCL while the other two standby towers are under purging. 吸着ｼｰｹﾝｽは加熱・再生工程の所要時間で順次切替わる。 The adsorption sequence progresses for every necessary time for the \"Heat & Purge\" process. 再生工程は､脱圧､加熱､加熱再生､冷却及び､昇圧で構成される｡ The purge process consists of , heating, heating & purge, cooling, and compression. 再生及び､昇圧用のH2としてはMake up H2が使用される｡ "Make up H2" is used for reproduction and. FC2600A3は、再生及び､昇圧用のH2の流量調整弁です。 FC2600A3 is feed rate control valve to H2 of reproduction and. この配管は再生H2の排出配管で、T-260A/B/CからE-261にH2を供給します。 This line is emission pipe of reproduction H2, and then feeding H2 from the T-260A, B, and C to the E-261. この機器は、T-260A/B/C関係の自動置換を行ないます。 This equipment will automatic replacement of T-260A, B, and C relationship. HCL吸着塔の工程の切替わりについて説明します。 So explain to switch of the process of HCL adsorption towers. この表は、吸着塔の再生工程表です。 This is a table of regeneration procedure of HCL adsorption towers. Step1 HCLの吸着工程は、T-260CからT-260Aに切替わります。 Adsorption process of HCL is switched to T-260A from T-260C. T-260Aは、B1工程の循環H2中のHCLの吸着工程に移行する。 Shifts to the \"Adsorb\" process for HCL contained in the H2 that is circulating through the B1 process. T-260Aは、5.5時間、吸着します。 T-260A is 5.5 hour, and adsorption. T-260Aは吸着して、その間にT-260B/Cの予備塔が再生を行っている｡ T-260A is operated to adsorb HCL while the other two standby towers are under purging. T-260Cは吸着工程が終了した後、すべての弁が閉になります。 T-260C after the adsorption step is completed, all valves will be closed. Step2 T-260Cは、活性炭の再生を開始します。 T-260C will start regeneration of the activated carbon. T-260Cは、Heat\#1 & Depressの再生・降圧工程に移行して、降圧を開始する。 T-260C shifts to the \"Heat\#1 & Depress\" process, and then T-260C is started decrease the pressure. そして、T-260CにHMHを供給して加熱が開始する。 Then, heating is started to supply HMH to T-260C. HMCからHMHに切替えた時にHM配管のﾋｰﾄｼｮｯｸを防止する為TI2600A8\_PVが上昇するまでHMHをHMC側に流している。 To prevent thermal shock from occurring to the HM pipe when switching from HMC to HMH, HMH is fed to the HMC side until the PV of TI2600A8 increases. Step3 T-260Cは、Heat\#2 & Depressの再生・降圧工程に移行する。 T-260C shifts to the \"Heat\#2 & Depress\" process. HMHは、HMCRからHMHRに切り替わる。 HMH is switched to HMHR piping from HMCR piping. Step4 T-260Cは、Heat & Purgeの再生工程に移行する。 T-260C shifts to the \"Heat & Purge\" process. T-260Cに再生H2の供給を開始する。 Start feeding purge H2 to T-260C. T-260Bは、昇圧が完了して、standbyの待機工程に移行する。 T-260B is to finish increasing the pressure, and then shifts to the \"standby\" process. T-260Bは、H2の排出弁が開いて接続される。 T-260B is connected to the discharge valve is opened for H2. Step5 T-260Cは、Hold工程に移行する。 T-260C shifts to the \"Hold\" process. T-260Cの再生用H2排出弁が閉となる。 The purge H~2~ discharge valve closes on T-260C. T-260Bは、H2の供給弁が開いて接続される。 T-260B is connected to the supply valve is opened for H2. Step6 HCLの吸着工程は、T-260AからT-260Bに切替わります。 Adsorption process of HCL is switched to T-260B from T-260A. T-260Bは、5.5時間、吸着します。 T-260B is 5.5 hour, and adsorption. T-260Aは、T-260Cと同様に活性炭の再生を開始します。 T-260A will start regeneration of the activated carbon in the same way as T-260C. Step7 T-260Cは、cool\#1の冷却・昇圧工程に移行する。 T-260C shifts to the \"cool\#1\" process. HMは、HMHからHMCに切り替わる。 HM is switched to HMC piping from HMH piping. Step8 T-260Cは、cool\#2の冷却・昇圧工程に移行する。 T-260C shifts to the \"cool\#2\" process. HMRは、HMHからHMCに切り替わる。 HMR is switched to HMC piping from HMH piping. Step9 T-260Cは、昇圧が完了して、standbyの待機工程に移行する。 T-260C is to finish increasing the pressure, and then shifts to the \"standby\" process. T-260Cは、H2の排出弁が開いて接続される。 T-260C is connected to the discharge valve is opened for H2. Step10 T-260Cは、H2の供給弁が開いて接続される。 T-260C is connected to the supply valve is opened for H2. Step11 HCLの吸着工程は、T-260BからT-260Cに切替わります。 Adsorption process of HCL is switched to T-260C from T-260B. T-260Cは、5.5時間、吸着します。 T-260C is 5.5 hour, and adsorption. これが、吸着塔の再生ｻｲｸﾙです。 This is the regeneration cycle of the adsorption tower. この配管は、T-260A/B/CとT-260D/E/FからCVD REACTORSにH2を供給します。 This line is feeding H2 from the T-256A, B, and C and the T-256D, E, and F to the CVD REACTORS. この配管は、A1工程にH2を供給する配管で、FC26004はD-1531にH2を供給する流量制御弁です。 This line is feeding H2 to the A1 process, and then FC26004 is the flow control valve to feeding H2 in D-1531. この配管は、CVD REACTORSにH2を供給する配管です。 This line is feeding H2 to the CVD REACTORS. PC260031は、H2循環配管の圧力調節弁で1.3MPaに調整します。 PC260031 is adjusted to 1.3MPa in the pressure control valve of the H~2~ circulation pipe. H2循環配管の圧力は、CVD REACTORSとA1工程にH2を供給する事により低下するので、PC260031で1.7H2を供給して圧力を調整します。 Pressure of H2 circulation pipe is decreased by feeding H2 to A1 process and the CVD REACTORS, adjust the pressure to supply 1.7H2 is PC260031. B1工程のH2循環配管への1.7H2供給量を調整する事により、PI26003\_PVを管理する。 Control the PV of PI26003 by adjusting the feed rate of 1.7 H2 fed to the H2 circulation pipe in the B1 process. この配管は、DG6にH2を排出する配管です。 This line is discharge H2 to the DG6. PC260032は、H2循環配管の圧力調節弁で1.3MPaに調整して、圧力が1.6MPaより上昇した時にDG6に排出します。 PC260032 is adjusted to 1.3MPa in the pressure control valve of the H2 circulation pipe, and to discharge to DG6 when the pressure was increased than 1.6MPa. この配管は、E-251にH2を供給する配管で、BJ1工程のﾊﾞｲﾊﾟｽ配管です。 This line is feeding H2 to the E-251, the bypass pipe of the BJ1 process. PC260033は、H2循環配管の圧力調節弁で1.4MPaに調整して、圧力が1.4MPaより上昇した時にE-251に供給します。 PC260033 is adjusted to 1.4MPa in the pressure control valve of the H2 circulation pipe, and to feed to E-251 when the pressure was increased than 1.4MPa. PC260033は、B1工程を起動・停止を行なう時だけに使用する圧力調節弁であり、BJ1工程のH2供給配管のﾊﾞｲﾊﾟｽ調節弁である。 PC260033 is a pressure control valve, which is used only when starting or stopping the B1 process, as well as being a bypass control valve for the H2 feed pipe in the BJ1 process. H2循環配管の圧力は、通常PC260031だけで調整します。 The pressure of the circulation pipe H2 is usually adjusted by only PC260031. D-284はHM貯槽で、P-2841は、HM補給ﾎﾟﾝﾌﾟです D-284 is HM recovery drum; P-2841 is HM recovery pump. D-284は、D-281にHMを供給する為に必要なHMを保有する貯槽である。 D-284 is a tank to store the HM necessary to feed to D-281. HMの保有量が減少した場合には、ｴｱｰ駆動式ﾀﾞｲﾔﾌﾗﾑﾎﾟﾝﾌﾟを使用してHMﾄﾞﾗﾑ缶のHMをD-284へ供給する。 When the amount of HM is decreased, feed HM from an HM drum to D-284 using an air-driven diaphragm pump. D-281は、HM膨張槽です D-281 is HM expansion drum. HCL吸着塔では、Chlorsorb RL-13を再生する時の加熱・冷却の媒体としてHMを使用している。HCL吸着塔の再生を行なう時には、HMは加熱と冷却が繰り返し行なわれる。D-281のHM膨張槽は、HMの膨張・収縮現象による変動を緩和する為の貯槽である。 In the he HCL adsorption tower, HM is used as media for heating and cooling to recycle Chlorsorb RL-13. For the recycle operation in the he HCL adsorption tower, HM is repeatedly heated and cooled. The HM expansion drum is a tank to reduce the due to the HM expanding and shrinking. D-281のHM保有量が低下した場合には、HMをD-284からﾎﾟﾝﾌﾟで供給してD-281のHM保有量を調整する。 When the amount of HM in D-281 has decreased, HM shall be pumped from D-284 to adjust the amount in D-281. PC28101/2は、D-281の圧力調節弁で300kPaに調整します。 PC28101 and PC28102 are adjusted to 300kPa in the pressure control valve of D-281. PC2810は1台の制御計器で、PC28101とPC28102の2台の調節弁を制御するｽﾌﾟﾘｯﾄ制御である。 PC2810 is the control of a single instrument, which is split control valve to control the adjustment of two of PC28102 and PC28101. D-281の圧力が300kPaより上昇する場合には、D-281内部に保有する気体をD-284に排出して降圧する。 If the pressure of D-281 increases higher than 300 kPa, discharge gas from D-281 into D-284 to decrease the pressure. D-281の圧力が300kPaより低下する場合には、0.85N2を供給して昇圧する。 If the pressure of D-281 decreases lower than 300 kPa, feed 0.85N2 to increase pressure. P-2811A/B/Cは、D-281からHCL吸着塔にHMCとHMHを供給するﾎﾟﾝﾌﾟです。 P-2811A, B and C are a pump to feeding the HMH and HMC from D-281 to the HCL adsorption tower. P-2811BはP-2811A/Cの共通予備機でありP-2811AはHMC供給ﾎﾟﾝﾌﾟ、P-2811B/CをHMH供給ﾎﾟﾝﾌﾟとして運用する。 P-2811B is put on standby for of both P-2811A and C while P-2811A is used as an HMC feed pump and P-2811B and C are used as HMH feed pumps. HMは気化しにくい液体なので、P-2811A/B/Cにはﾘﾊﾞｰｽｻｰｷｭﾚｰｼｮﾝ配管はありません。 HM is difficult because the liquid vaporizes, P-2811A, B and C is there is not reverse circulation piping. この配管は、HMCのﾐﾆﾏﾑﾌﾛｰ配管です。 This line is minimum flow piping of HMC. この配管はHCL吸着塔にHMCを供給する配管です。 This line is feeding HMC pipe to the HCL adsorption tower E-283はTW冷却器で、TWでHMCを40℃まで冷却します。 E-283 is a thermal fluid cooler, and then cool the HMC to 40 °C in TW. HMCはｼｪﾙ側に供給されて、TWはﾁｭｰﾌﾞ側に供給されます。 HMC is supplied to the shell side, and then TW will be supplied to the tube side. この配管は、HMHのﾐﾆﾏﾑﾌﾛｰ配管です。 This line is minimum flow piping of HMH. この配管はHCL吸着塔にHMHを供給する配管で、は電気ﾋｰﾀｰです。 This line is feeding HMH pipe to the HCL adsorption tower, and then E-282A, B, C and D is a thermal fluid electrical heater. HMHはｼｪﾙ側に供給します。 HMH is supplied to the shell side. TT282B2/D2は、HMHをE-259のE-282A/B/C/Dで190℃に調整します。 TT282B2 is adjusted to 190 °C in the SCR ( Silicon Controlled ) of E-282A and B to HMH, and then TT282D2 is adjusted to 190 °C in the SCR of E-282C and D to HMH. この配管は再生H2の排出配管で、HCL吸着塔からE-261にH2を供給します。 This line is emission pipe of reproduction H2, and then feeding H2 from the HCL adsorption tower to the E-261. E-261はTW冷却器で、TWで再生H2を冷却します。 E-283 is regeneration cooler, and then cools the in TW. 再生H2はﾁｭｰﾌﾞ側に供給されて、TWはｼｪﾙ側に供給されます。 The reproduction H2 is supplied to the tube side, and then TW will be supplied to the shell side. E-262は冷熱回収熱交換器で、D-2631のﾍﾞﾝﾄｶﾞｽで再生H2を約-5℃まで冷却する｡ E-262 is regeneration gas exchanger, cools the reproduction H2 to temperature -5 °C in the vent gas of D-2631. 再生H2はﾁｭｰﾌﾞ側に供給されて、D-2631のﾍﾞﾝﾄｶﾞｽはｼｪﾙ側に供給されます。 The reproduction H2 is supplied to the tube side, and then the vent gas of D-2631 will be supplied to the shell side. E-263は深冷冷却器で、E-263はR507Aで再生H2を更に冷却して､ｸﾛﾛｼﾗﾝを液化分離する｡ E-263 is regeneration chiller, and then E-263 is cools the reproduction H2 using R507 so that chlorosilane is and separated. LC2630は、E-263の液面調節弁で50%に調整します。 LC2630 is adjusted to 50 % in the level control valve of E-263. 再生H2はﾁｭｰﾌﾞ側に供給されて、R507Aはｼｪﾙ側に供給されます。 The reproduction H2 is supplied to the tube side, and then R507A will be supplied to the shell side. R507AをK-291A/Bから供給して、気化したR507AはK-291A/Bに戻ります。 R507A is supplied from K-291A and B, the vaporized R507A will return to K-291A and B. D-2631のｳｴｽﾄｸﾛﾛｼﾗﾝﾄﾞﾗﾑは液化したｸﾛﾛｼﾗﾝを回収する設備である｡ 回収された液体は､D-361にﾎﾟﾝﾌﾟで供給される｡ The D-2631 west chlorosilane drum recovers the chlorosilane. The recovered liquid is pumped to D-361. P-2631A/Bの吸入配管には、ﾊﾞｹｯﾄｽﾄﾚｰﾅｰがあります。 The suction pipe of P-2631A and B has the bucket strainer. P-2631A/B吸入配管の接続弁を閉めて、SR-2631AはP-2631A専用のｽﾄﾚｰﾅｰで使用する。 Close the connection valve on the suction pipe of P-2631A and B, SR-2631A is switched to the strainer dedicated to P-2631A. P-2631A/B/C/Dは、自動起動のﾎﾟﾝﾌﾟです。 P-2631A, B, C, and D is starts automatically of pump. 運転中のﾎﾟﾝﾌﾟが停止した場合に予備機が自動起動する事により、安定運転の継続を図る。 The pump of standby starts automatically to continue stable operation if pump of run is stops. この配管はﾘﾊﾞｰｽｻｰｷｭﾚｰｼｮﾝ配管で、この配管構造はｶﾞｽが溜まりません。 This line is reverse circulation piping, and this piping construction is no gas buildup. It is no pocket. ﾘﾊﾞｰｽｻｰｷｭﾚｰｼｮﾝ配管は、P-2631A/Bのﾘﾊﾞｰｽ内部で気化したｶﾞｽが滞留しない様にD-2631に液を循環します。 Reverse circulation piping will circulate the liquid to D-2631 so as not to accumulate the vaporized gas is the reverse inside of P-2631 A and B. この配管はｻｰｷｭﾚｰｼｮﾝ配管で、P-2631AからTCS/STCを供給して、E-263のﾁｭｰﾌﾞを洗浄する。 This line is circulation piping, and then feeding TCS and STC from P-2631A, and to clean the tubes of E-263. この配管は、D-361にTCS/STCを供給します。 This line is feeding TCS and STC to the D-361. LC2631は、D-2631の液面調節弁で50%に調整します。 LC2631 is adjusted to 50 % in the level control valve of D-2631. D-2631のﾍﾞﾝﾄｶﾞｽは、汚染物質を含有する可能性があるので排気します。 The vent gas of D-2631 is exhaust, so there is likely to contain. この配管は、DG6にﾍﾞﾝﾄｶﾞｽを供給します。 This line is feeding vent gas to DG6. ﾍﾞﾝﾄｶﾞｽのHCL濃度は0.6mol%と低いので、DG6に供給して中和処理します。 HCL concentration of the vent gas is lower in 0.6mol%; the process is supplied to DG6. この機器は、D-2631関係の自動置換を行ないます。 This equipment will automatic replacement the of D-2631 relationship. それでは、冷凍機の説明をします。 So, these are explaining of the. まず冷凍機の原理ですが The first is the Principle of a , 蒸発器で大気温度以下の被冷却物のもっている熱を、冷媒の蒸発の潜熱としてそれに移動させ、発生した冷媒蒸気をｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰを用いて常温の空気や水で冷却すれば容易に凝縮する圧力まで圧縮の仕事を加えて圧縮し、凝縮器で凝縮熱を排出して液化している。 凝縮した冷媒液は膨張弁で低圧・低温に絞り膨張させ、蒸発器に送り込んで蒸発させる。 この動作を繰り返しているものを冷凍ｻｲｸﾙという。 The eliminates heat from the object to be cooled that is cooler than the as the latent heat of evaporation of the. The evaporated is compressed to be easily condensed by air or water of normal temperature, and then by discharging the condensation heat with the condenser. The condensed liquid is expanded at a low pressure and low temperature by the expansion valve, and then fed to the and evaporated again. The repeat of the above-mentioned operation is called a refrigerating cycle. K-291A/Bは、R507Aを圧縮する冷凍機です。(screw compressor) K-291A and B is to compress the R507A. K-291A/Bはｽｸﾘｭｰ式の串形2段型の圧縮機である。 ｹｰｼﾝｸﾞ内にはそれぞれ雄・雌1組のﾛｰﾀが噛み合っている。 R-507Aｶﾞｽをﾛｰﾀの一端から歯形の溝内に吸込んで、歯の噛み合いによりR507Aｶﾞｽの体積を減少させ吐出圧力まで圧縮して他端の吐出口に送り出す。 ﾌﾟﾛｾｽｶﾞｽや液を冷却する為にR-507Aｶﾞｽは凝縮器で液化され受液器に貯蔵された後、蒸発器に供給される。 蒸発器で冷却に使用されたR-507Aは気化した後K-291A/Bの1段吸入に吸い込まれる。 K-291A and B are the 2 stage type screw compressors. In the casing, sets of male and female rotors mesh together,. R-507A gas is extracted from one end of the rotors into the helical screws to decrease the volume of the gas gradually through meshing of the helical screws. Thus, the gas is compressed to the discharge pressure and discharged from the outlet at the other end. To cool the process gasses and liquids, R-507A gas will be in the condenser and stored in the receiver, then fed to the. R-507A, used for cooling in the , vaporizes and then is extracted into the primary inlet of K-291A and B. K-291A/Bは同一機器である為、K-291Aについて説明する。 K-291A and B are the same type of equipment; therefore, only explain at K-291A. この機器は容量制御ｽﾗｲﾄﾞ弁で、K-291Aの負荷を調整します。 This equipment is the capacity control slide valve; adjust the load on K-291A. PC2910は、K-291A/Bの吸入圧力調節弁で4kPaに調整します。 PC2910 is adjusted to 4kPa in the suction pressure control valve of K-291A and B. KP-2911Aは、ｵｲﾙ循環ﾎﾟﾝﾌﾟです。 KP-2911A is lube oil still pump of K-291A. K-291Aのﾛｰﾀ間に油を供給して、ﾛｰﾀの滑らかな回転を行います。 To supply lube oil between the rotors of K-291A, perform smooth rotation of the rotor. 油を多量に噴射しながら冷媒を圧縮し、油で熱を除去するので、吐出ｶﾞｽ温度を断熱圧縮の場合よりも低くすることができる。 The twin rotary compressor compresses the while injecting a large amount of oil and eliminates heat by the oil. Therefore the temperature of the discharged gas is lower than that in the case of compression. KE-2918Aは、ｵｲﾙの冷却器です。 KE-2918A is oil cooler. ｵｲﾙはｼｪﾙ側に供給されて、TWはﾁｭｰﾌﾞ側に供給されます。 Oil is supplied to the shell side, and then TW will be supplied to the tube side. この配管は、KE-2918Aのﾊﾞｲﾊﾟｽ配管です。 This line is a bypass piping of KE-2918A. TI-2911A-1のPVが45℃から90℃の運転管理基準の範囲になる様にKE-2918Aﾊﾞｲﾊﾟｽ弁を調整する。 Adjust the bypass valve on KE-2918A so that the PV of TI-2911A-1 comes within the range of the operation control standards of 45 to 90 °C. この配管はK-291Aの吐出配管で、KSL-2910Aは、吐出のｻｲﾚﾝｻｰです。 This line is discharge piping of K-291A; KSL-2910A is discharge silencer. KD-2911Aはｵｲﾙ回収器で、分離したｵｲﾙはK-291Aに供給されます。 KD-2911A is oil separator drum, and then separated oil is supplied to K-291A. この配管は、KD-2911A/Bの油回収器ｶﾞｽ均圧配管です。 This line is the pressure equalizing pipe of the oil recovery unit of KD-2911A and B. KD-2911A/Bの圧力を同一にする配管です。 Piping is same to the pressure of KD-2911A and B. この配管は、KD-2911A/Bの均液深配管です。 This line is the equal pipe of KD-2911A and B. KD-2911A/Bのｵｲﾙ液面を同一にする配管です。 Piping is same to the oil level of KD-2911A and B. この配管はR507AをKE-2912に供給する配管です。 This line is the feeding R507A to KE-2912. この配管はK-291Aのﾎｯﾄｶﾞｽﾊﾞｲﾊﾟｽ配管です。 This line is hot gas bypass piping of K-291A. K-291Aを起動した時には運転負荷が低い為にPC2910\_PVは低下傾向となる。HCP291Aを調整する事により、ﾎｯﾄｶﾞｽﾊﾞｲﾊﾟｽのHV291A2でR507AをK-291A吸入配管に循環して運転負荷を調整する。 Just after starting up K-291A, the operation load is low; therefore, the PV of PC2910 decreases. When the HCP291A is adjusted, HCP291A2 changes in the open direction, and R507A circulates in the suction pipe of K-291A through the hot gas bypass, thus the operational load. E-2561/E-2583/E-263にR507Aの供給を開始する事により、K-291Aの運転負荷が上昇する。 The operation load on K-291A increases with the start of the feed of R507A to E-2561, E-2583 and E-263. この配管はK-291Aの一段吸入配管で、この配管は二段吸入配管です。 This line is primary suction piping of K-291A, and then this line is secondary suction piping. K-291Aの一段吸入には、KE-2915からR507Aが供給されます。 The primary suction of the K-291A is supplied from R507A is KE-2915. K-291Aの二段吸入には、E-2561/E-2583/E-263からR507Aが供給されます。 The secondary suction of the K-291A is supplied from R507A is E-2561, E-2583 and E-263. KE-2912はR507Aの凝縮器で、KD-2913は受液器です。 KE-2912 is a condenser of R507A; KD-2913 is a liquid receiver. R507Aは、KE-2912で凝縮されKD-2913に保有されます。 R507A will be held in KD-2913 is condensed in KE-2912. KE-2915はR507Aの節炭器です。 KE-2915 is an economizer of R507A. 節炭器は、R507Aを利用して気化する事により、蒸発器に供給するR507Aを過冷却して、冷凍機の負荷を低減させる。 Economizer is vaporized by using R507A, supercooling the R507A supplied to the , the load of the. KE-2915の冷凍機過熱度制御は、10℃に調整する。 Controls superheat of the of KE-2915 is adjusted to 10 °C. 過熱度は、測音抵抗体にて検出した冷媒ｶﾞｽ温度と圧力伝送器にて検出した圧力を変換した冷媒飽和温度との差です。 Superheat is the difference between the saturation temperatures to convert the pressure transmitter was detected by the temperature and pressure gas was detected by sound resistance. R507Aは、K-291Aの一段吸入に供給されます。 R507A is supplied to the primary suction of K-291A. この配管はKE-2915で冷却されたR507AをE-2561/E-2583/E-263に供給する配管です。 This line is pipe to be supplied to E-2561, E-2583 and E-263 the R507A has been cooled in the KE-2915. この配管は、E-2561/E-2583/E-263の油回収配管です。 This line is the oil return pipe of E-2561, E-2583 and E-263. この配管は、E-2561/E-2583/E-263で蒸発したR507AをK-291Aの二段吸入に供給する配管です。 This line is to supplied to the secondary suction of K-291A the R507A was evaporated in E-2561, E-2583 and E-263. KD-2916は気液分離槽で、R507A中の液体を分離します。 KD-2916 is suction liquid separator, and then to separate the liquid in the R507A. 以上が冷凍機の説明です。 The above is explaining of the. AIT-2500はｶﾞｽｸﾛﾏﾄｸﾞﾗﾌｨｰで、ｶﾞｽ中の成分を分析します。 AIT-2500 is a gas chromatography analyzer, to analyze the components in the gas. ｷｬﾘｱｰｶﾞｽは、H2を使用します。 The carrier gas use a H2. D-271A/B/C/D/Eは、TCS貯蔵槽です。 D-271A, B, C, D and E is storage drum of TCS. D-271A/B/C/D/Eは同一機器である為、D-271Aについて説明する。 D-271A, B, C, D and E are the same type of equipment; therefore, only explain at D-271A. D-271A/B/C/D/Eは、T-303A/Bで精製されたTCSを供給して貯蔵する設備である。 定常時にはT-303A/Bで精製されたTCSは、D-272へ供給されて貯蔵されるが、貯蔵設備の在庫を調整する時やTCS分析を行なう必要がある場合には、D-271A/B/C/D/Eに供給して貯蔵する。 D-271A/B/C/D/Eの在庫を調整する時には、T-303A/BからのTCSの供給をTCSを貯蔵していないD-271A/B/C/D/Eの予備器に切替えてTCSを貯蔵する。 D-271A/B/C/D/Eに貯蔵したTCSは分析を実施して、TCS分析値が運転管理基準の範囲である事を確認してD-272へ供給する。 D-271A is equipment that feed and store TCS, which has been refined in T-303 A and B. In a normal state, TCS, which has been refined in T-303 A and B, is be fed to D-272 for storage. However, to adjust the stock in the storage equipment or to analyze it, TCS shall be fed to D-271A for storage. To adjust the stock in D-271A, feeding of TCS from T-303A and B shall be switched to the standby equipment of D-271A in which TCS is not stored. TCS stored in D-271A shall be analyzed to confirm that the TCS analysis value is within the range of the operation control standards. Then TCS shall be fed to D-272. このﾗｲﾝは、T-303AからTCSを供給するﾄﾞﾗﾑを切り替えるﾍｯﾀﾞｰで、このﾗｲﾝは、D-271AにTCSを供給する配管です。 This line is the header to switch the drums to supply TCS from T-303A, and then this line is the feeding pipe TCS to the D-271A. P-2711Aは、D-271AからD-272にTCSを供給するﾎﾟﾝﾌﾟです。 P-2711A is a pump to feeding TCS from D-271A to D-272. D-271AはTCSの製品槽である為、P-2711Aの吸入にはｽﾄﾚｰﾅｰはありません。 P-2711A is not suction strainer, because D-271A is product storage drum of TCS. この配管はﾘﾊﾞｰｽｻｰｷｭﾚｰｼｮﾝ配管です。 This line is reverse circulation piping. ﾘﾊﾞｰｽｻｰｷｭﾚｰｼｮﾝ配管は、P-2711Aのﾘﾊﾞｰｽ内部で気化したｶﾞｽが滞留しない様にD-271Aに液を循環します。 Reverse circulation piping will circulate the liquid to D-271A so as not to accumulate the vaporized gas is the reverse inside of P-2711A. この配管はP-2711AのTCS循環配管で、P-2711AからD-271AにTCSを供給して、D-271Aの配管や計器関係の液の入替えや循環を行います。 This piping is TCS circulation piping of P-2711A, and then feeding TCS from P-2711A to D-271A, and performs the replacement of fluid and circulation piping and instrument-related D-271A. この配管は、D-272にTCSを供給します。 This line is feeding TCS to the D-272. TCS供給量は、P-2711Aの吐出弁で調整します。 TCS supply is adjusted by the discharge valve of the P-2711A. PC271Aは、D-271Aの圧力調節弁で150kPaに調整します。 PC271A is adjusted to 150kPa in the pressure control valve of D-271A. D-271Aの圧力が上昇する場合には、D-271A内部に保有する気体をDG3に排出して降圧する。 If the pressure of D-271A increases higher, discharge gas from D-271A into DG3 to decrease the pressure. D-271Aの圧力が低下する場合には、0.3H2を供給して昇圧する。 If the pressure of D-271A decreases lowers, feed 0.3H~2~ to increase the pressure. D-272は、TCS貯蔵槽です。 D-272 is drum of TCS. D-233/D-234/D-235/D-236/D-237/D-238は同一機器である為、D-233について説明する。 D-233, D-234, D-235, D-236, D-237, and D-238 are the same type of equipment; therefore, only explain at D-271A. D-272は、T-303A/BとT-312それぞれで精製されたTCSを供給して貯蔵する設備である。 D-272に貯蔵したTCSは、BJ1工程のD-233/D-234/D-235/D-236/D-237/D-238へ供給してﾎﾟﾘｼﾘｺﾝの析出に使用される。 D-272 is equipment that feeds and stores TCS that has been refined in T-303A, T-303B, and T-312,. TCS stored in D-272 shall be fed to D-233, D-234, D-235, D-236, D-237, and D-238 in the BJ1 process and used for the deposition of polysilicon. この配管は、D-272にTCSを供給します。 This line is feeding TCS to the D-272. P-2721A/Bは、D-272からD-233にTCSを供給するﾎﾟﾝﾌﾟで、通常の運転時には、1台運転で1台予備機です。 P-2721A and B is a pump to feeding TCS from D-272 to D-233, and then operate one among P-2721A and B while putting the remainder on standby. P-2722は、D-272からD-233以外の貯槽にTCSを供給するﾎﾟﾝﾌﾟです。 P-2722 is a pump to feeding TCS from D-272 to reservoir of Other than the D-233. D-272はTCSの製品槽である為、P-2721A/Bの吸入にはｽﾄﾚｰﾅｰはありません。 P-2721A and B is not suction strainer, because D-272 is product storage drum of TCS. この配管はﾘﾊﾞｰｽｻｰｷｭﾚｰｼｮﾝ配管です。 This line is reverse circulation piping. ﾘﾊﾞｰｽｻｰｷｭﾚｰｼｮﾝ配管は、P-2721A/Bのﾘﾊﾞｰｽ内部で気化したｶﾞｽが滞留しない様にD-272に液を循環します。 Reverse circulation piping will circulate the liquid to D-272 so as not to accumulate the vaporized gas is the reverse inside of P-2721A and B. この配管はP-2721A/BのTCS循環配管で、P-2721A/BからD-272にTCSを供給して、D-272の配管や計器関係の液の入替えや循環を行います。 This piping is TCS circulation piping of P-2721A and B, and then feeding TCS from P-2721A/B to D-272, and performs the replacement of fluid and circulation piping and instrument-related D-272. P-2721A/Bは能力が高いので、FOが1枚では循環配管の流量調整ができない為、FOが2枚取り付けられています。 P-2721A and B has a high capacity, because in the flow orifice of one plate cannot adjust the flow rate of the circulation piping, the flow orifice is attached 2 plate. このﾗｲﾝは、D-233/D-234/D-235/D-236/D-237/D-238にTCSを供給する配管です。 This line is the feeding pipe TCS to the D-233. PC2720は、D-272の圧力調節弁で80kPaに調整します。 PC2720 is adjusted to 80kPa in the pressure control valve of D-272. D-272の圧力が上昇する場合には、D-272内部に保有する気体をDG3に排出して降圧する。 If the pressure of D-272 increases higher, discharge gas from D-272 into DG3 to decrease the pressure. D-272の圧力が低下する場合には、0.3H2を供給して昇圧する。 If the pressure of D-272 decreases lower, feed 0.3H~2~ to increase the pressure. D-286は、B1工程のSDのﾄﾞﾗﾑです。 D-286 is drum of SD of B1 process. D-286は、HCL放散塔ﾘﾎﾞｲﾗｰの加熱で使用したSD\"1.1ST\"を供給して貯蔵する設備である。 SDは高温度であり、P-2861A/Bがｷｬﾋﾞﾃｰｼｮﾝを発生する事が考えられる為にD-286にPWを供給して冷却する。 D-286のSDは、STM BOILER/SRSへの熱量として再利用する。 D-286 is equipment that feeds and stores SD \"1.1ST,\" which was used for the heating of the HCL stripping tower reboiler. Since SD is highly-heated and may cause cavitation of P-2861A and B, PW is fed to cool down D-286. SD in D-286 shall be re-used as the heat source for STM BOILER and SRS. この配管は、E-2581からD-286にSDを供給します。 This line is feeding SD to the D-286 from E-2581. P-2861A/Bは、D-286からSTM BOILERとSRSにSDを供給するﾎﾟﾝﾌﾟで、通常の運転時には、1台運転で1台予備機です。 P-2861A and B is a pump to feeding TCS from STM BOILER and SRS to D-286, and then operate one among P-2861A and B while putting the remainder on standby. D-286ではSDをSTM BOILERとSRSに供給している為、SDの電導度を管理しています。 Because it is feeding to SRS and STM BOILER an SD, has managed the electrical conductivity of SD in the D-286. このﾗｲﾝは、D-286に0.3Nを供給する配管です。 This line is a feeding 0.3N pipe to D-286. 0.3Nの流量は5Nm3/hです。 Flow rate of the N2 is 5Nm3 / h. D-286の気層をN2でｼｰﾙする事で、SDへの酸素の溶存を防止します。それと空気と接触してSDの電導度が上昇する事を防止します。 N2 is to seal in the layer of D-286, to prevent the dissolved oxygen to SD, and then to prevent that the electrical conductivity of the SD is increased contact with O2 and CO. P-2861A/Bは、SDの電導度が上昇した場合にはｲﾝﾀｰﾛｯｸで停止します。 P-2861A and B in the case of SD was increased electrical conductivity will stop at the interlock. SDの電導度の運転管理基準はまだ決まっていません。 The operation control standards of the conductivity of SD is not decided yet. D-286の流体はSDなので、P-2861A/Bにはﾘﾊﾞｰｽｻｰｷｭﾚｰｼｮﾝ配管と吸入ｽﾄﾚｰﾅｰはありません。 D-286 is so of SD, P-2861A and B is the reverse circulation piping and suction strainer is not available. この配管はP-2861A/BのSD循環配管です。 This piping is SD circulation piping of P-2861A and B. P-2861A/Bは能力が高いので、FOが1枚では循環配管の流量調整ができない為、FOが3枚取り付けられています。 P-2861A and B has a high capacity, because in the flow orifice of one plate cannot adjust the flow rate of the circulation piping, the flow orifice is attached 3 plate. このﾗｲﾝは、SRS and STM BOILERにSDを供給する配管で、このﾗｲﾝは、PT-859にSDを供給する配管です。 This line is the feeding pipe SD to SRS and STM BOILER, and then this line is the feeding pipe SD to PT-859B. LC28601/2は、D-286の液面調節弁で80%に調整します。 LC28601 and LC28602 are adjusted to 80 % in the level control valve of D-286. このﾗｲﾝは、D-286にSDを冷却する為のPWを供給する配管で、SDの蒸発によるP-2861A and Bのｷｬﾋﾞﾃｰｼｮﾝを防止します。 This line is a pipe to supply the PW for cooling the SD to D-286, to prevent cavitation of the P-2861A and B due to evaporation of SD. TC2860は、D-286の温度調節弁で90℃に調整します。 TC2860 is adjusted to 90 °C in the temperature control valve of D-286. 以上がB1工程の"P&ID"の説明です。 The above is a explain of \"P & ID\" of B1 process. So ends the description of the process B1.