Podcast
Questions and Answers
Ce reprezintă fabricația?
Ce reprezintă fabricația?
Care sunt grupele de tehnici de microfabricare clasificate în funcție de tipul micro produsului?
Care sunt grupele de tehnici de microfabricare clasificate în funcție de tipul micro produsului?
Ce grupuri de tehnici de microfabricare nu sunt bazate pe tehnica litografică?
Ce grupuri de tehnici de microfabricare nu sunt bazate pe tehnica litografică?
Care sunt tehnicile principale folosite în tehnologia microsistemelor TMS?
Care sunt tehnicile principale folosite în tehnologia microsistemelor TMS?
Signup and view all the answers
Care este materialul cel mai frecvent utilizat pentru depunerea de straturi rezistente la coroziune?
Care este materialul cel mai frecvent utilizat pentru depunerea de straturi rezistente la coroziune?
Signup and view all the answers
Ce tipuri de fotoreziști se folosesc în tehnica litografică?
Ce tipuri de fotoreziști se folosesc în tehnica litografică?
Signup and view all the answers
Cum se caracterizează viteza de coroziune în corodarea chimică izotropă?
Cum se caracterizează viteza de coroziune în corodarea chimică izotropă?
Signup and view all the answers
Ce tip de material este folosit pe plăcuța acoperită cu polimeri organici în procesul de fotolitografie?
Ce tip de material este folosit pe plăcuța acoperită cu polimeri organici în procesul de fotolitografie?
Signup and view all the answers
Care este rolul stratului subțire în tehnologiile de microfabricare?
Care este rolul stratului subțire în tehnologiile de microfabricare?
Signup and view all the answers
Ce etapă urmează după depunerea materialului de structurare în procesul tehnologic?
Ce etapă urmează după depunerea materialului de structurare în procesul tehnologic?
Signup and view all the answers
Care este adâncimea de așchiere specificată pentru nanoașchiere?
Care este adâncimea de așchiere specificată pentru nanoașchiere?
Signup and view all the answers
Care este metoda utilizată în fotolitografia prin apropiere?
Care este metoda utilizată în fotolitografia prin apropiere?
Signup and view all the answers
Care este trăsătura specifică a microprelucrării pe suprafață?
Care este trăsătura specifică a microprelucrării pe suprafață?
Signup and view all the answers
Ce definește procesul de fabricație din punct de vedere economic?
Ce definește procesul de fabricație din punct de vedere economic?
Signup and view all the answers
Care este materialul din care este construită, în mod curent, fotomasca?
Care este materialul din care este construită, în mod curent, fotomasca?
Signup and view all the answers
Care dintre următoarele opțiuni reprezintă un tip de corodare chimică utilizat în practică?
Care dintre următoarele opțiuni reprezintă un tip de corodare chimică utilizat în practică?
Signup and view all the answers
Care tehnică NU este parte din metodele de microfabricare a dispozitivelor MEMS?
Care tehnică NU este parte din metodele de microfabricare a dispozitivelor MEMS?
Signup and view all the answers
Ce rol joacă solventul (acetona) în procesul lift-off?
Ce rol joacă solventul (acetona) în procesul lift-off?
Signup and view all the answers
Ce tip de scule sunt frezele în procesul de așchiere?
Ce tip de scule sunt frezele în procesul de așchiere?
Signup and view all the answers
Ce tehnologie este utilizată pentru a obține structuri planare libere în fabricarea MEMS?
Ce tehnologie este utilizată pentru a obține structuri planare libere în fabricarea MEMS?
Signup and view all the answers
Care dintre următoarele opțiuni descrie cel mai bine procesul de litografie?
Care dintre următoarele opțiuni descrie cel mai bine procesul de litografie?
Signup and view all the answers
În ce grupă de tehnologii se încadrează microprelucrarea pe suprafață?
În ce grupă de tehnologii se încadrează microprelucrarea pe suprafață?
Signup and view all the answers
Ce desemnează relația $K_c$ în contextul nanoașchierii?
Ce desemnează relația $K_c$ în contextul nanoașchierii?
Signup and view all the answers
Ce definește adâncimea de așchiere t în procesul de micro așchiere?
Ce definește adâncimea de așchiere t în procesul de micro așchiere?
Signup and view all the answers
Care este principala diferență între fotolitografia prin contact și fotolitografia prin apropiere?
Care este principala diferență între fotolitografia prin contact și fotolitografia prin apropiere?
Signup and view all the answers
Ce avantaje oferă fotolitografia prin proiecție în comparație cu alte metode?
Ce avantaje oferă fotolitografia prin proiecție în comparație cu alte metode?
Signup and view all the answers
Ce pas este esențial în procesul de depunere a straturilor subțiri?
Ce pas este esențial în procesul de depunere a straturilor subțiri?
Signup and view all the answers
În contextul LIGA, care este ordinea corectă a procedurilor de microfabricare?
În contextul LIGA, care este ordinea corectă a procedurilor de microfabricare?
Signup and view all the answers
Care dintre următoarele tehnici de depunere de straturi subțiri aparține metodei CVD?
Care dintre următoarele tehnici de depunere de straturi subțiri aparține metodei CVD?
Signup and view all the answers
Ce problemă poate apărea în fotolitografia prin apropiere din cauza difracției luminii?
Ce problemă poate apărea în fotolitografia prin apropiere din cauza difracției luminii?
Signup and view all the answers
Ce se înțelege prin tehnica LIFT-OFF?
Ce se înțelege prin tehnica LIFT-OFF?
Signup and view all the answers
Care dintre următoarele etape nu face parte din procesul de depunere a straturilor subțiri?
Care dintre următoarele etape nu face parte din procesul de depunere a straturilor subțiri?
Signup and view all the answers
Care este funcția mișcării de avans la strunjire?
Care este funcția mișcării de avans la strunjire?
Signup and view all the answers
Ce reprezintă duritatea H în relațiile specifice proceselor de prelucrare?
Ce reprezintă duritatea H în relațiile specifice proceselor de prelucrare?
Signup and view all the answers
Ce tip de suprafețe se pot obține prin metoda de strunjire?
Ce tip de suprafețe se pot obține prin metoda de strunjire?
Signup and view all the answers
Cum funcționează procedeul de injectare a materialelor plastice?
Cum funcționează procedeul de injectare a materialelor plastice?
Signup and view all the answers
Care sunt caracteristicile pieselor obținute prin microinjecție?
Care sunt caracteristicile pieselor obținute prin microinjecție?
Signup and view all the answers
Ce caracteristici are scula de microstrunjit, în special cuțitul de diamant?
Ce caracteristici are scula de microstrunjit, în special cuțitul de diamant?
Signup and view all the answers
Ce definește frezarea și mișcarea de așchiere?
Ce definește frezarea și mișcarea de așchiere?
Signup and view all the answers
Burghiele sunt considerate obținute prin amplasarea a unor cuțite de strunjit, ce reprezintă?
Burghiele sunt considerate obținute prin amplasarea a unor cuțite de strunjit, ce reprezintă?
Signup and view all the answers
Ce caracteristică definieste fotolitografia prin contact?
Ce caracteristică definieste fotolitografia prin contact?
Signup and view all the answers
Care este principala problemă asociată cu metoda de litografiere prin contact?
Care este principala problemă asociată cu metoda de litografiere prin contact?
Signup and view all the answers
Ce tip de solvente este utilizat pentru fotoreziștii negativi?
Ce tip de solvente este utilizat pentru fotoreziștii negativi?
Signup and view all the answers
Cum se obțin negativele configurațiilor pe fotoreziști?
Cum se obțin negativele configurațiilor pe fotoreziști?
Signup and view all the answers
Ce dimensiune minimă a caracteristicii poate fi obținută prin fotolitografia prin contact?
Ce dimensiune minimă a caracteristicii poate fi obținută prin fotolitografia prin contact?
Signup and view all the answers
Ce definește termenul de nanoașchiere?
Ce definește termenul de nanoașchiere?
Signup and view all the answers
Care este o caracteristică cheie a mecanismului de formare a așchiei la micro așchiere?
Care este o caracteristică cheie a mecanismului de formare a așchiei la micro așchiere?
Signup and view all the answers
Care dintre următoarele afirmații este adevărată despre fotolitografie?
Care dintre următoarele afirmații este adevărată despre fotolitografie?
Signup and view all the answers
Study Notes
Fabricatie
- Fabricatia presupune crearea de produse cu valoare adaugata, utilizand forta de munca calificata si echipamente adecvate.
- Din punct de vedere tehnologic, implica aplicarea proceselor fizico-chimice pentru modificarea proprietatilor si formei materialelor de pornire pentru a obtine piesele sau produsele dorite.
- Din punct de vedere economic, este transformarea materialelor de baza in produse cu valoare mai mare, prin procese de prelucrare si/sau asamblare.
- Procesul de productie include diferite etape tehnologice pentru transformarea materiei prime sau semifabricatelor in produse finite.
Tehnologii de Microfabricare
- Microsisteme (MEMS, MOEMS) si microinginerie (MET): Tehnologii specifice pentru crearea de microsisteme si componente mecanice cu structuri micro si nanostructurate.
- Tehnologii asistate de energie: De ex., litografie UV, ablație laser, micro EDM, fascicul focalizat de ioni.
- Procese mecanice: Microfrezare, microstrunjire, microgaurire.
- Tehnologii de reproducere: Turnare prin injectie, turnare sub presiune, matrițare la cald, NIL (nanoimprint lithography).
- Micromanipulare, microasamblare, controlul calitatii.
Microfabricare Clasificata in Functie de Principala Technica de Lucru
- Tehnologii bazate pe litografie: Depuneri de straturi subtiri, litografie, corodare chimica, tehnologia LIGA.
- Tehnologii care nu sunt bazate pe litografie: Microprelucrare in microinginerie (micro taiere mecanica cu tehnologii de micro aschiere, micro rectificare, microprelucrari conventionale si neconventionale).
Tehnologii Microsistemelor (TMS)
- Principalele tehnici de lucru: Tehnicile de sistem, tehnicile de microlucru si materiale/efecte de miniaturizare in proiectarea microsistemelor.
- Fotorezisti utilizati in litografie: Pozitivi si negativi.
- Litografia prin apropiere (proximitate): Procedeu ce implica proiectarea unei imagini reduse a unei masti pe un substrat.
Depunere Straturi Subtiri
- Metode: Fizice (PVD - Physical Vapor Deposition), chimice (CVD - Chemical Vapor Deposition).
- Etape: Alegerea sursei, transportul materialului, procesul de depunere, analiza filmului depus.
Fotolitografie
- Prin proiectie: Proiectare optica a imaginii unei masti pe un substrat, obtinand rezolutii de ordinul 0,5 µm.
- Prin contact: Aducerea unei masti in contact cu substratul, cu posibilitatea potentiala de degradare a mastii.
- Prin apropiere: Masca este la o distanta de substrat, eliminand posibilitatea degradarii mastii.
Procedeul LIGA
- O combinatie de litografie, depunere de straturi subtiri si eroziune chimica, folosita pentru realizarea de structuri metalice pe substrat.
Corodare Chimica
- Metode: Umeda (wet chemical etching), uscata (dry etching).
- Tipuri: Izotropă (viteza de coroziune nu depinde de orientarea cristalina a materialului), anizotropă (viteza de coroziune depinde de orientarea cristalina a materialului).
Microașchiere
- Microașchiere este un proces prin care se îndepărtează materialul de prelucrat cu ajutorul unei scule pentru a genera o geometrie dorita.
- La aceasta se mai poate observa odată cu micsorarea adancimii de aschiere o crestere a rezistentei la forfecare sau a tensiunii de rupere a materialului necesar asteierii.
- Mișcarea de avans Ms este importanta pentru aducerea straturilor succesive de material in fata taisului aschietor al sculei.
Alte Notiuni
- Microprelucrare in volum: Tehnică pentru obținerea de structuri tridimensionale prin eroziune chimică.
- Posibilitati de miscare: Microstructurile formate prin microprelucrarea pe suprafata au posibilitatea de a se misca relativ fata de substrat.
- Litografie in nuante de gri: Schimbarea transparenței mastii pe lungimea acesteia pentru a obține diferite densități de lumina.
- Microfabricare: Fabricatie de componente mici in domeniul micronilor si submicronilor.
- Fotorezist: Strat fotosensibil folosit in litografie.
- Nanoașchiere: Proces similar cu microașchiere dar pentru scală nanometrica.
Studying That Suits You
Use AI to generate personalized quizzes and flashcards to suit your learning preferences.
Related Documents
Description
Acest quiz explorează noțiunile de bază ale fabricării și tehnologiilor de microfabricare. Vei învăța despre procesele tehnologice implicate în crearea produselor cu valoare adăugată și despre utilizarea microsistemelor în inginerie. Testează-ți cunoștințele despre tehnicile și procesele folosite în aceste domenii inovative.