Depositiones en Capas Delgadas en Cámara de Vacío

Descomposición térmica y reducción usando H₂ (correct)

Reducción usando H₂ y formación de compuestos usando NH₂O

Descomposición térmica y formación de compuestos usando 11₂O

Oxidación usando O y formación de compuestos usando NH₂O

Descarga eléctrica o plasma (correct)

Excitación de las moléculas

Alta temperatura

Radiación o plasma

Aplicación no uniforme en objetos complejos

Requiere alto vacío para succionar los gases

Espesor de película grueso

Alta pureza de deposición (correct)

<p>1000°C</p> Signup and view all the answers

<p>Deben ser volátiles a la temperatura de reacción</p> Signup and view all the answers

<p>Purificación de metales y algunos no metales</p> Signup and view all the answers