Плазменная Диагностика: Методы и Техники

5 Questions

Соотнесите методы диагностики плазмы с их возможностями измерения:

Спектроскопия = Измерение температуры, плотности и состава плазмы Интерферометрия = Измерение плотности и электронной плотности плазмы Зонды Ленгмюра = Измерение потенциала плазмы, температуры электронов и плотности Расеянная Томсона = Измерение плотности, температуры и распределения скоростей плазмы

Соотнесите методы генерации плазмы с их типами разрядов:

Электрические разряды = .Constant current discharge, RF discharge, Microwave discharge Лазерная инициированная плазма = Плазма, генерируемая лазером Ионная имплантация = Внесение ионов в твердое тело Источники плазмы = ICP, CCP, DC plasma, Pulsed plasma

Соотнесите приложения плазмы с их областями применения:

Материаловедение = Этching, Deposition, Surface modification Освещение = Флуоресцентное освещение, Высокointенсивное разрядное освещение Медицинские приложения = Плазменная медицина, Лечение рака, Заживление ран Энергетические приложения = Исследование термоядерного синтеза, Плазменные системы привода, Плазменное химическое осаждение

Соотнесите техники плазменной диагностики с их видами:

Оптическая эмиссионная спектроскопия = ОЭС, спектроскопия излучения плазмы Лазерно-индуцированная vỈздная спектроскопия = LIBS, спектроскопия лазерного пробоя Рентгеноспектроскопия = Спектроскопия рентгеновского излучения Плазменное изображение = Визуализация пространственного распределения плазмы

Соотнесите источники плазмы с их типами:

Индукционно-связанная плазма = ICP, плазма, генерируемая индукционным способом Капаситивно-связанная плазма = CCP, плазма, генерируемая емкостным способом Прямого тока плазма = DC plasma, плазма, генерируемая постоянным током Импульсная плазма = Pulsed plasma, плазма, генерируемая импульсным током

Study Notes

Plasma Diagnostics

Methods:
- Spectroscopy: measures light emission from plasma to determine temperature, density, and composition
- Interferometry: measures plasma density and electron density
- Langmuir probes: measures plasma potential, electron temperature, and density
- Thomson scattering: measures plasma density, temperature, and velocity distribution
Techniques:
- Optical emission spectroscopy (OES)
- Laser-induced breakdown spectroscopy (LIBS)
- X-ray spectroscopy
- Plasma imaging

Plasma Generation

Methods:
- Electrical discharges:
  - DC discharge
  - Radio-frequency (RF) discharge
  - Microwave discharge
- Laser-induced plasma
- Ion implantation
Plasma Sources:
- Inductively coupled plasma (ICP)
- Capacitively coupled plasma (CCP)
- Direct current (DC) plasma
- Pulsed plasma

Plasma Applications

Materials Processing:
- Etching
- Deposition
- Surface modification
Lighting:
- Fluorescent lighting
- High-intensity discharge (HID) lamps
Medical Applications:
- Plasma medicine
- Cancer treatment
- Wound healing
Energy Applications:
- Fusion research
- Plasma-based propulsion systems
- Plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD)

Диагностика Плазмы

Спектроскопия: измеряет эмиссию света от плазмы, чтобы определить температуру, плотность и состав
Интерферометрия: измеряет плотность плазмы и плотность электронов
Зонды Ленгмюра: измеряют потенциал плазмы, температуру электронов и плотность
Томсоновское рассеяние: измеряет плотность плазмы, температуру и распределение скоростей

Методы Диагностики

Оптическая эмиссионная спектроскопия (ОЭС)
Спектроскопия лазерного индуцированного разрушения (LIBS)
Рентгеновская спектроскопия
Изображение плазмы

Генерация Плазмы

Методы Генерации

Электрические разряды:
- постоянного тока
- радиочастотный разряд
- микроволновой разряд
Лазерное искусственное образование плазмы
Ионная имплантация

Источники Плазмы

Индуктивно связанная плазма (ИСП)
Ёмкостно связанная плазма (ЁСП)
Прямой токовая плазма
Импульсная плазма

Приложения Плазмы

Обработка Материалов

Эching
Осаждение
Модификация поверхности

Освещение

Флуоресцентное освещение
Высокоинтенсивные разрядные лампы (ВИРЛ)

Медицинские Приложения

Плазменная медицина
Лечение рака
Лечение ран

Энергетические Приложения

Исследования по термоядерному синтезу
Плазменные системы привода
Плазмоускоренная химическая парофазная депозиция (ПХПД)